今天小编要和大家分享的是3D IC,接下来我将从3DIC,这几个方面来介绍。
3D IC产业链依制程可概略区分成3大技术主轴,分别是前段(Front-end)、中段(Middle-end)及后段(Backend)。
3DIC
3DIC产业链依制程可概略区分成3大技术主轴,分别是前段(Front-end)、中段(Middle-end)及后段(Backend)。前段制程涵盖芯片前段CMOS制程、晶圆穿孔、绝缘层(Isolation)、铜或钨电镀(plating),由晶圆厂负责。为了日后芯片堆叠需求,TSV芯片必须经过晶圆研磨薄化(WaferThinning)、布线(RDL)、晶圆凸块等制程,称之为中段,可由晶圆厂或封测厂负责。
后段则是封装测试制程,包括晶圆切割、芯片堆叠、覆晶、覆晶强化(Underfill)、高分子封模(Molding)、雷射印码等。在芯片堆叠技术中,有晶圆-晶圆堆叠(Wafer-to-WaferStacking)、芯片-晶圆堆叠(Die-to-WaferStacking)、芯片-芯片堆叠(Die-to-DieStacking)等3种。透过薄化TSV芯片堆叠将可充分利用厚度方向优势,实现高传输速度、芯片级微型化封装,满足可携式电子产品轻、薄趋势。
关于3D IC,电子元器件资料就介绍完了,您有什么想法可以联系小编。