哪种工艺将胜出?只有时间会告诉我们答案。

什么是RF MEMS?

基于RF SOI工艺的射频开关将继续占据主导地位,但新技术RF MEMS也会占有一席之地。“随着时间的推移,SOI已经取得了不可思议的进步。电阻下降了,线性度也变得更好了。”Cavendish Kinetics的Dal Santo说。“但是本质上来说,SOI开关是通过晶体管导通或关闭来实现的开与关,所以无论如何Ron和Coff始终都会存在。

RF MEMS并不是一个全新的工艺,它其实已经经过了长期的发展,一直在稳步前进。诸如Cavendish、Menlo Micro和WiSpry(AAC Technologies)等公司,正致力于RF MEMS在无线通信领域的应用。

手机射频开关器件和天线调谐器领域工艺之争

Fig. 3: Antennatuner with switch. Source: Cavendish Kinetics

最初,Cavendish等公司将RF MEMS技术应用到使用RF SOI和其它工艺的天线调谐器。

“如果给你一个固定的天线,它的带宽是受限的,不可能支持一个频段内的所有频带。所以天线调谐应运而生,“Dal Santo说。“主流的天线调谐是采取开关切换,要么切换不同的电容匹配,要么切换不同的电感匹配。问题在于天线是高Q值的器件。你必须小心去调节,如果谐振位置出现偏差,性能可能会更加恶化。”