和Peregrine 公司有合作关系的日本冲电气也开发了类似产品,冲电气称之为SOS 技术,SOS技术是以“UTSi”为基础开发的技术。“UTSi”技术是由在2003 年1 月与冲电气建立合作关系的美国派更半导体公司(Peregrine Semiconductor Corp.)开发的。在蓝宝石底板上形成单晶硅薄膜,然后再利用CMOS 工艺形成电路。作为采用具有良好绝缘性的蓝宝石的SOS 底板,与硅底板和SOI(绝缘体上硅)底板相比,能够降低在底板上形成的电路耗电量。冲电气开发的RF 开关的耗电电流仅为15μA(电源电压为2.5~3V),与使用GaAs 材料的现有RF 开关相比,耗电量降到了约1/5。
Si BiCMOS
以硅为基材的集成电路共有Si BJT(Si-Bipolar Junction Transistor)、Si CMOS、与结合Bipolar与CMOS 特性的Si BiCMOS(Si Bipolar Complementary Metal Oxide Semiconductor)等类。由于硅是当前半导体产业应用最为成熟的材料,因此,不论在产量或价格方面都极具优势。传统上以硅来制作的晶体管多采用BJT 或CMOS,不过,由于硅材料没有半绝缘基板,再加上组件本身的增益较低,若要应用在高频段操作的无线通信IC 制造,则需进一步提升其高频电性,除了要改善材料结构来提高组件的fT,还必须藉助沟槽隔离等制程以提高电路间的隔离度与Q 值,如此一来,其制程将会更为复杂,且不良率与成本也将大幅提高。
因此,目前多以具有低噪声、电子移动速度快、且集成度高的Si BiCMOS 制程为主。而主要的应用则以中频模块或低层的射频模块为主,至于对于低噪声放大器、功率放大器与开关器等射频前端组件的制造仍力有未逮。
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