射频微等离子体的特点分析 RF,无线技术文章

如果想在射频微等离子中继续获得正常的辉光结构，保证放电间隙内的电中性，提高放电频率是一种可行的方法。下图给出了在不同频率下两个周期电子密度的时空分布。图中显示，当频率为13.56MHz时，只有在电极附近才有大量的电子，其密度近似3.06×1011cm-3。

而当频率增加到27.12MHz时，产生的3.15×1011cm-3的电子密度在极板间随着外加电压的改变来回振荡，从一个极板到另一个极板，几乎占据了整个间隙。随着频率进一步增加到54.24MHz，在放电间隙产生的高密度电子，形成一个稳定的中性等离子体区。这些数据表明，随着频率的增加，放电结构发生改变，传统的辉光结构也可以出现。

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