基于fab内全自动晶圆测试ATE系统 测量仪表技术文章

我们的一位工艺集成工程师表示：“在线（in-line）电气测试已成为证明工艺条件是否有效的唯一方法。我们不能等到晶圆完成处理后再进行测试，因为这可能导致学习周期延迟一个月。在线电气测量可以帮助我们发现许多与工艺相关的问题，这些问题可能来源于晶圆制造过程早期的构图、金属化和平坦化步骤。”

       责任编辑:pj

关于测量仪表就介绍完了，您有什么想法可以联系小编。