变容室温度的测量不确定度
Pt100铂电阻温度传感器的测量精度为0.1K，实验室的温度约为23℃，则温度测量的不确定度约为0.04%。
恒压控制效果
在参考室中充入104175Pa的N2，设置好各PID控制参数，通过小孔将流量引入双球校准系统，进行恒压调节。图4为PID调节结果。
图4恒压控制效果图
由PID调节结果中知，变容室和参考室之间的压力差被控制到变容室压力的±0.004%之内，加上参考室内气体压力的静态波动（约为0.005%）后，变容室内气体压力的波动约为0.0.%。从以上的实验结果可知，整个流量计的相对合成标准不确定度为
该不确定度远小于流量计的设计指标（2%）。
结束语
在该系统的设计中，通过选用高精度的测量元件和先进的测控方法，提高了流量的测量精度，延伸了流量的测量下限。虚拟仪器技术的应用，使气体微流量测量系统具有人性化的操作界面与易于操作的特点，提高了该系统的自动化程度、可靠性和维护性。
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