六氟化硫气体泄漏问题也是影响断路器安全运行的重要因素，找出六氟化硫气体泄漏原因并制定相应对策，最大限度地减少六氟化硫气体的泄漏是一个重要课题。
六氟化硫断路器故障防范措施
强化对六氟化硫气体中水分的控制。首先，控制六氟化硫断路器中气体的含水量。新气体充装前，要依据相应的质量标准对其进行验收检查，新装气体纯度需大于99.8%。另外，水分、空气、矿物油等技术指标须符合国标要求。
其次，应尽量避免由于操作不当或受充气装置所限，从而带入水分。充气前，要对新气体气瓶压力进行检查，看其是否符合出厂要求。然后，再对所有管路进行冲洗，接头处可使用电吹风进行加热除潮，充气时应先将气瓶控制阀门拧开，并把连接管用六氟化硫气体冲一下，随后将其与断路器连接，以防止水分进入断路器内。充气后六氟化硫断路器气室中内的气压要尽量高于实际要求值。最后，将六氟化硫断路器瓷套和线圈进行检查，应保持瓷套完好线圈密封良好，防止断路器在安装过程中，受潮或损坏。
对固体杂质的控制措施。安装使用单位在选择六氟化硫断路器时，应选择质保体系完整，产品质量合格的生产厂家，以此来保证断路器中杂质含量符合相关标准。另外，在安装使用过程中，要定期检查六氟化硫断路器的报警回路，加强对断路器易漏位置的检查，定期对六氟化硫断路器进行检漏。
发现泄漏部位及处理方法。巡查人员要定期检查最近气体填充记录，如气体密度以大于0.01兆帕/年的速度下降，必须用检漏仪检测，更换密封件和其他已损坏的部件。如泄漏很快，可充气至额定压力，查看压力表，同时用检漏仪查找管路接头漏点;另外可以用包扎法逐相逐个密封部位查找漏点。
