连接器件

正确连接被测器件 (DUT) 对进行灵敏的低电容测量至关重要。为获得最好的测量结果,应只使用随机自带的红色 SMA 电缆把 CVU 连接到 DUT。红色 SMA 电缆的特 性阻抗是 100W。并联的两条 100W电缆的特性阻抗是50W,这是高频源测量应用的标准配置。随机自带的附件可以使用BNC或SMA连接连到测试夹具或探头。使用随机自带的扭矩扳手,紧固SMA电缆连接, 确保接触良好。

图 1 显示了2线传感的CVU配置。HCUR 和 HPOT 端子连接到BNCT形装置连接, 构 成 CVH(HI); LCUR和LPOT连接在一起,构成 CVL(LO)。图2是DUT 4线传感实例。 在本例中,HCUR 和 HPOT 端子连接到器件的一端,LPOT 和 LCUR端子连接到器件的另一端。我们使用到器件的4线连接, 通过尽可能靠近器件测量电压,来简化灵敏的测量。

使用 4215-CVU 电容电压单元进行fF飞法电容测量

图 1. 2线传感的 CVU 连接。 图 2. 4 线传感的 CVU 连接图。

不管是2线传感还是4线传感,同轴电缆的外部屏蔽层必须尽可能近地连接到器件上,以使屏蔽层的环路面积达到最小。这降低了电感,有助于降低谐振效应, 这种效应在 1 MHz 以上的频率时可能会带来负担。

所有电缆要固定好,避免移动,因为在执行偏置测量和实际 DUT 测量之间发生的任何移动,都可能会略微改变环路电感,影响补偿的数据。

在测量非常小的电容时,DUT屏蔽变得非常重要, 以降低由于干扰引起的测量不确定度。干扰源可以是AC信号,甚至是物理移动。金属屏蔽层应封闭DUT,连接到同轴电缆的外壳上。对低电容测量,最好使用 4 线传感,但如果电缆较短, 并采用了补偿技术,使用 2 线传感也能实现最优测量。