提高MEMS陀螺仪的灵敏度的方法 MEMS,传感技术技术文章

另外，他们还研究了由于周期压电电压导致陀螺仪刚度周期变化而引起的参数振动，利用多尺度法得到了系统的稳定性区域，分析了压电电压对系统稳定性的影响。结果表明，附加的压电薄膜还可以通过产生参数共振来提高陀螺仪的灵敏度。

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