图 3：DPS368 架构框图
DPS368 气压传感器的精度可达±0.002 hPa（等于±2 cm），可以在–40 至+ 85°C 温度范围测量 300 hPa 至 1200 hPa 之间的气压，并且具有低于 0.5 Pa/°C 的温度敏感度。温度读数精确到±0.5°C。该传感器能够检测单楼梯、身体动作或手势。在生产过程中，每个单一组件都经过单独校准，校准系数存储在一次性可编程（OTP）存储器中。可以使用 I2C 或 SPI 接口传输原始数据，并且在主机设备中计算补偿压力值。
全速运行时，该器件的功耗相比竞争对手产品低 50%，这归功于其电容技术（交流偏置），从而可以延长电池使用寿命。集成的 FIFO 可以存储 32 个测量值，并允许主机处理器在两次读取之间的长间隔进入睡眠模式，从而进一步节省了系统功耗。
图 4：其电容式传感器的单元结构可实现温度漂移极低的差分测量。
高测量速率（高达 200 Hz）和快速读取可实现快速的传感器反馈。
电容技术
典型的小尺寸 MEMS（微机电系统）压力传感器围绕压阻测量技术而构建。在这些情况下，通过应变传感器来检测膜片相对于压力变化的挠曲。但是，压阻式传感组件特别容易随温度改变而变化，而且它们对于温度变化没有线性响应。因此，与电容组件相比，这些传感器需要更复杂的校准。此外，电阻测量会带来相对较高的电流消耗，在目标应用设备由电池供电且使用寿命至关重要的情况下，这是一个特别重要的考虑因素。
由于压阻技术的局限性，英飞凌为其压力传感器开发了一种电容式 MEMS 技术。图 4 显示了所开发的单元结构和电容式电桥配置。这个气压传感器由四个传感和参比单元阵列组成。传感单元具有柔性膜，该膜片可对压力变化做出反应并提供气压测量值。参比单元则具有坚硬的膜，该膜片对压力变化无反应，并提供稳定的测量参比。这种结构的好处是压力测量是可以差分的，并且传感单元和参比单元都暴露在相同的温度变化下，从而消除了温度漂移的影响。单元尺寸针对高灵敏度和机械可靠性进行了优化。它基于小型 MEMS 电池，没有重力效应。除了在宽温度和压力范围内具有非常好的温度稳定性之外，其他关键特性还包括低噪声和低功耗。
