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MEMS,传感技术相关技术文章为什么西人马始终立足于感知与人工智能的核心技术的研发？
如今的MEMS芯片及传感器市场，除了历史悠久的国际品牌，许多中国初创芯片公司也进入了大家的视野，这其中就包括2015年成立的西人马公司。虽然西人马在MEMS芯片及传感器领域起步较晚，但却走出了一条不同于其他企业的自主创新之路。
自创立以来，西人马始终立足于感知与人工智能的核心技术的研发，通过持续、大幅度的投入，每年以几百项专利的速度快速递增。持续的研发投入也带来了丰硕的成果，目前西人马在MEMS芯片与高端传感器领域已拥有先进的自主研发技术、检测设备和生产制造基地，具有强大的生产能力以及满足客户个性化需求的订制能力。
西人马公司先进的芯片及传感器生产车间，该车间不仅拥有芯片的加工能力，还具备全套规范的传感器性能与可靠性检测能力，可为客户提供高品质、高良率、高效率的服务。
智造驱动企业高质量运行
据介绍，西人马公司MEMS芯片及传感器生产线车间，配备8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能传感器芯片产线和中国先进的MEMS器件加工平台，拥有6000平方米的高等级洁净车间，具备深硅刻蚀、键合、光刻、原子力显微镜、扫描电镜等先进的制造、封装与检测设备，具备一体化的量产能力。
走进西人马MEMS芯片无尘车间，看到一台台高科技设备开足马力运转，设备上闪烁的灯光提醒着人们，生产线正忙碌着。
在工作人员的带领下，首先来到刻蚀车间，在MEMS芯片制程中，刻蚀就是用化学的、物理的或同时使用化学和物理的方法，在光刻的基础上有选择地进行图形的转移，其工艺水平将直接影响到最终产品质量及生产技术的先进性。“这台PT－4设备使用ICP（电感耦合等离子体）来实现刻蚀，钝化沉积和刻蚀交替进行，快速形成一个垂直的侧壁，具有高选择比和高刻蚀速率，广泛运用于我们的MEMS芯片上。”工作人员表示。
刻蚀机
紧接着来到薄膜车间，薄膜指通过电子束蒸镀、磁控溅射、化学气相沉积等工艺将所需物质铺盖在基片的表层，根据过程的气相变化特性，可分为PVD与CVD两大类。
