扫描电子显微镜（SEM）
此外，西人马还加强了对产品质量的管控。西人马利用扫描电子显微镜（SEM）对MEMS器件关键工艺的微观形态进行测试、分析，实现SEM对MEMS的有效测量和工艺验证。在质量车间，扫描电子显微镜（SEM）通过高电压释放电子束去扫描物体表面的形态，检测膜层形貌、厚度和表面高度，其放大倍率可以达到百万级别，然后通过连接EDS可以检测物体表面的元素成分及含量。
原子力显微镜（AFM）
而原子力显微镜（AFM）是利用微悬臂系统和放大臂上面的细小探针与被测物体之间的原子相互作用来进行检测，它的分辨率可以达到原子级别。
除了先进的MEMS芯片制造工艺外，芯片产能也有大幅度提升。据西人马芯片车间负责人介绍：“芯片共有光刻、薄膜、扩散、刻蚀和封装5个车间，一天的产能可以达到20万个传感器芯片。”
通过参观了解，西人马公司具备完善的芯片制造设备、检测设备和完整的传感器封装及测试设备，拥有芯片的加工能力以及传感器性能与可靠性检测能力，可以为全球客户提供OEM和ODM服务。
严守产品质量关
西人马作为一家具备芯片和传感器材料合成、芯片设计、制造、封装和测试全方位能力的公司，其研发人员90％以上为硕博士。高层次的人才、先进的设备、严谨的工艺流程和严苛的生产标准保证了西人马公司产品的优异性能。采访现场的产品测试也验证了西人马公司自主研发产品的可靠性。
据西人马品质总监Dr．Xu介绍，西人马引进了GE高精度压力源设备以保证传感器的出货品质。以压阻式压力传感器为例，通过高精度压力源，再通过高精度的DC Power，可以测量到在不同的压力源下产品的各种特性，包括传感器的灵敏度、零位输出、满量程输出。另外，还可以计算出传感器的线性、迟滞、重复性，最后可以得到传感器的综合精度。
DC Power
根据现场工程师的测试，可以看到，西人马的压力传感器是经过一系列不同压力测试之下得到的综合精度结果。目前西人马压力传感器的综合精度可以达到±0．1％，已经达到国际水准。
现场测试
为了保证产品的可靠性，传感器需经过不同温度的高低温循环箱，来模拟传感器在不同温度下的特性，这也是西人马最重要的传感器产品品质把关环节。可以看出，西人马公司的传感器产品不仅具有非常优异的性能，同时其生产工艺品控标准都能够达到业内一流水准。
