4、压电薄膜传感器
压电薄膜特别适合用于监测生命体征，既可直接贴附在皮肤上，也可通过中间层进行耦合。压电薄膜具有极薄的横截面（厚度为28μm 、 11μm），柔软，非常耐用，具有化学惰性，可承受高达85°C（特殊工艺时125°C）的温度。压电薄膜用于睡眠呼吸暂停诊断设备和CPAP设备，以帮助医生和患者了解呼吸状况。有节奏的呼吸是良好睡眠的关键指标，压电薄膜可通过测量呼吸过程中的振动来检测睡眠状态。
5、磁传感器
为使电机顺畅运转，呼吸机采用了风机系统来冷却电机组件。磁传感器支持稳定的电机控制，这能够减少由风机系统产生的噪音和振动。除了提高能源效率和提供稳定运行外，这些传感器还因外形小巧，得以实现睡眠呼吸机产品结构紧凑、自动化和较低装配成本的设计理念。
6、湿度传感器
湿度传感器可用于提供令患者感到舒适的暖湿气流。当向气流中加入湿气时，必须对其进行监测与控制。湿度传感器与测量气流湿度的微控制器配合使用，并与调节湿度的控制器相互协调，确保气流具有恰当的湿度水平。
7、温度传感器
对于温度感应而言，呼吸机制造商可以从能为患者提供暖湿气流以提高呼吸舒适度的感测元件中选择。暖湿空气还有助患者减少因吸入干燥的冷空气而导致的嗓子疼。分立式热敏电阻通常会直接安装在气流通路中，以检测气流温度。温度传感器与检测气流温度的微控制器配合使用，并与控制和调节气流温度的控制器交互。
关于MEMS,传感技术就介绍完了，您有什么想法可以联系小编。
