而说到MEMS中国本土供应链，不得不提的一家公司就是苏州敏芯，它是中国MEMS产业的先驱者，也是华登在中国投资的第一家MEMS芯片公司。经过多年研发、试制、规模化和商业化的运营，苏州敏芯完成了现有MEMS传感器产品芯片设计、晶圆制造、封装和测试环节的基础研发工作，并将形成的各生产环节技术导入国内的晶圆制造和封装厂商，帮助其开发了专业的MEMS产品生产加工工艺，实现了本土化生产体系的搭建。毫不夸张的说，苏州敏芯凭借一己之力承担起我国MEMS产业链本土化的重任。
图 苏州敏芯三位创始人在创业之初的合影
这是华登中国总经理黄庆博士2007年在苏州敏芯成立之初拜访时所拍的照片，三位创始人用自制的简陋的试验设备进行MEMS器件的腐蚀工艺。虽然在2007年我们就开始关注苏州敏芯，黄庆博士对敏芯创始团队的专业、执着和坚持一直赞不绝口，但直到2012年下半年我们才决定对敏芯进行投资。事后问起黄庆博士，即使是在2012年，敏芯也只有区区200万人民币的销售额，是什么让他在那时做了投资的决定？我记得他就说了五个字“产业化能力”。复盘一下，确实如此。
敏芯2007年成立于苏州工业园区，创始团队只能在自己简陋的实验室里进行工艺的开发；2008年，有幸利用苏州纳米所的4寸中试线进行产品和工艺开发，技术逐渐成型，MEMS生产工艺的摸索逐渐成熟，但4寸线终究无法满足市场化的量产需求；2009年，终于有机会和中芯国际成都厂（成芯）共同开发基于8寸线的MEMS量产工艺，但随着成芯在2010年卖给美国TI之后，合作也无疾而终；之后幸亏因为国家02专项的支持，苏州敏芯开始在华润上华导入MEMS生产工艺，终于在2011年华润上华的MEMS工艺逐渐成熟，可以大规模量产MEMS wafer。又经过一年在MEMS封装厂的封装工艺导入，敏芯的MEMS产品在2012年终于在中国本土的供应链上进行大规模量产，这对中国的MEMS产业来说都是里程碑式的事件。苏州敏芯在2018年已经达到2.5亿的收入，5000多万净利润，华润上华至今仍是敏芯最重要的晶圆厂合作伙伴，同样，敏芯也一直是华润上华最大的MEMS芯片客户。
一波三折的经历现在看起来可能平淡无奇，但MEMS技术若想在中国形成一个产业，成熟的中国本土供应链将是必不可少的基石，也是对我国MEMS产业奋起直追国外竞争者最强有力的支撑。感谢敏芯的贡献，感谢02专项，感谢这个时代！
表 MEMS芯片与集成电路芯片的比较
