压敏电阻局部坐标系中的剪切应力。

下图展示了隔膜边缘上的剪切应力。每条边的中心处,局部剪切应力最大,为 38 MPa。

沿两条隔膜边缘的局部剪切应力。

鉴于设备尺寸和掺杂度估算值,在正常运行下,模型输出与制造商数据表中的信息十分吻合。举例来说,在该模型中,施加3 V 的偏压后可以得到 5.9 mA 的工作电流。数据表中记录有一个相似的 6 mA 电流。此外,该模型的电压输出为 54 mV。如数据表所示,设备产生的实际电位差为 60 mV。

最后,让我们看看 Xducer™ 传感器的电流与电压分布详情。参考文献 3 中提到,当电压传感元件中的载流硅线的局部宽度增大时,可能会发生“短路效应”。该效应的本质原因是电流扩散到了 X 形压敏电阻的传感臂中。具体情况请参见下图。此外,下图还突出显示了不对称电位,它也由压阻效应产生的。

3 V 的偏压、100 kPa 压力时,设备的电流密度和电势。

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