激光位移传感技术解析

MX-G系列激光同轴位移传感器

挚感光子技术人员向OFweek激光网介绍,MX-G系列激光同轴位移传感器的关键部件是其光模组。它由激光器、光电探测器(封装内)、集成光学芯片及光学透镜组成。光学透镜是可调的,并可根据不同的应用进行更换。标准配置的镜片(直径8.5mm)适用于150mm的聚焦光束,光斑半径为0.05mm,当测量距离为2米时光斑半径为1mm左右。如果用户需要,还可以支持准直配置。例如安装一个直径为6.5mm的透镜并支持准直型测量,光斑半径为3.5mm,可同时满足用户准直测量和较小光斑的需求。尤为突出的一点是,这种技术能实现三角法无法完成的深孔测量。

激光位移传感技术解析

深孔检测示意图

此外,MX-G系列激光同轴振动传感器可实现纳米级的远距准确测振,测振频率范围及振幅灵敏度可与常用LDV相当,具有光收发一体、同轴测量、安装方便、抗干扰性强,不受粉尘或测量面光强度变化影响等特点,可用于喇叭振幅检测、轴承振动检测、车床振动监测、汽车振动检测等方面。

激光位移传感技术解析

振动检测示意图

如文章开头介绍,此类传感器在测位移模式下可以直接进行透明物体(如薄膜,玻璃板或玻璃镜头)厚度的测量,而测振模式下(也是一种相位测量模式)则可以进行剥离弯曲度的快速检测。

关于MEMS,传感技术就介绍完了,您有什么想法可以联系小编。