智能传感器和多功能传感器解析 MEMS,传感技术技术文章

（3） 采用新的测量原理和方法。谐振式传感器输出数字量，可以直接和微机及接口总线连接，不用A/ D 转换器。另外，光纤传感器、化学传感器、生物传感器新型传感器，为智能传感器提供新的信息来源。

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