FS4000系列质量流量传感器在气动系统中的应用分析 MEMS,传感技术技术文章

FS4000系列质量流量传感器是采用领先的微机电系统流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）

气体质量流量传感器FS4000系列（FS4003和FS4008）产品技术参数

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