今天小编要和大家分享的是MEMS,传感技术相关信息，接下来我将从MEMS加速度计工作原理介绍，经典的数字信号处理算法主要包含什么内容这几个方面来介绍。
MEMS,传感技术相关技术文章MEMS加速度计工作原理介绍
加速度计原理
1.1 加速度计由MEMS传感器与信号处理芯片组成。
1.2 MEMS加速度计工作原理
由上电容、中电容板(可移动)、下电容板等组成；当加速度达到一定值后，中电容板会移动，与上、下电容板的距离就会变化，上、下电容因此变化。电容变化跟加速度成比(如下面公式)，通过对输出电压数字处理后，输出数字化信号。
如图：
公式：(1) Vs = ( (Cs1-Cs2)/(Cs1+Cs2) ) * Vm ;输出电压为电容电压变化部分；vm(输入电压)
(2) 由容的定义可得出电容的大小与位移之间的关系：
关于MEMS,传感技术就介绍完了，您有什么想法可以联系小编。
