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MEMS,传感技术相关技术文章MEMS加速度传感器在电机健康状态监测上的应用

随着工业4.0深入的推进,电机已经成为了工业生产中最主要的驱动设备,广泛应用于各个生产领域。电机在长期运行中难免会产生一些故障,如何实时监测电机工作状态,及时诊断出电机的健康状况就变得非常重要。研究表明,电机振动信号中包含了大量的电机运行状态信息,对电机振动进行实时监测可以有效的判断电机的运行状态,从而实现对电机故障及时诊断和预警,大大降低电机发生重大事故的概率,用客户的话讲就是“让机器说话”。据ADI代理商Excelpoint世健公司介绍,世健已经为湖南、四川等多个地区的钢铁、风电等客户搭建了从传感器到云端的全套系统,目前进入前期导入阶段。

常见的加速度传感器主要有压电陶瓷加速度传感器、应变式加速度传感器、电容式加速度传感器和MEMS加速度传感器,传统的电机振动监测主要选用IEPE电压输出型压电加速度传感器。但随着MEMS技术的不断进步,目前在很多应用上已经开始逐步替代压电式传感器,世健公司技术支持部Eason Huang表示,ADI在MEMS加速度传感器产品上可以提供丰富的产品来满足不同的振动频率监测,同时能保持最好的噪声性能。Eason将ADI公司的ADXL1002与某压电陶瓷加速度传感器公司的B产品进行了对比:

1. 性能参数对比

MEMS加速度传感器在电机健康状态监测上的应用

2. 灵敏度和相移对比

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3. 噪声密度对比

经过对比不难发现,两款传感器在灵敏度上非常接近,而ADXL1002随频率的相移相对于对比产品要小一半,底噪上压电陶瓷要比MEMS小一些。在成本方面,Eason介绍,压电陶瓷比MEMS高出许多——$100 vs $30。以下是ADI常用于振动监测的加速度传感器选型: