今天小编要和大家分享的是MEMS,传感技术相关信息，接下来我将从利用EL6249C芯片实现频闪照明电路的设计，倒装芯片键合mems应用的调查 investigation of flip这几个方面来介绍。
MEMS,传感技术相关技术文章利用EL6249C芯片实现频闪照明电路的设计
１、引言
微电子机械系统（ＭＥＭＳ）是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的新兴学科。由于它与传统机械系统相比，具有可大批量生产、成本低、功耗小、集成化等一系列显著的优点，近十年来得到了迅速的发展。随着ＭＥＭＳ从研究阶段逐渐步入产业化阶段，其对测试系统的需求也越来越迫切。特别是对动态特性的测试技术，这是因为ＭＥＭＳ的动态特性决定了ＭＥＭＳ器件的基本性能；而且ＭＥＭＳ微结构三维微运动情况、材料属性及机械力学参数、ＭＥＭＳ可靠性与器件失效模式、失效机理等关键问题均可通过ＭＥＭＳ动态测试技术加以解决；同时，通过动态测试技术，还可以研究一系列相关的基础理论问题。因此，MEMS动态测试技术近年来得到了国内外许多ＭＥＭＳ研究机构的高度重视。
由于许多ＭＥＭＳ器件的运动频率都比较高，一般在５０～５００ｋＨｚ左右，甚至更高。在这种情况下，如果用摄像机在连续光照下采集高速运动的ＭＥＭＳ器件的运动图像，由于ＣＣＤ的曝光时间一般需要３０ｍｓ，因此，最终得到的图像是模糊的。这样不能正确反映ＭＥＭＳ器件在某一个位置的运动情况。为了能够采集到高速运动的ＭＥＭＳ器件的清晰运动图像，笔者引用了频闪成像技术，同时利用这个技术捕获到了ＭＥＭＳ器件运动时瞬间的清晰图像。在通过频闪成像技术得到一系列不同时刻不同相位的ＭＥＭＳ器件运动的清晰图像后，笔者采用机器微视觉技术（如块匹配或光流法）来对它们进行分析处理，从而得到ＭＥＭＳ器件的运动特性。频闪成像技术的关键问题之一是如何产生频闪成像所需的频闪光。选用ＥＬ６２４９Ｃ驱动高亮ＬＥＤ产生所需的频闪光后，就可以利用频闪照明原理来采集高速运动的ＭＥＭＳ器件的清晰图像，从而为后续ＭＥＭＳ器件动态特性的提取和分析做充分地准备。下面具体介绍频闪成像的原理、ＥＬ６２４９Ｃ的基本功能及其在ＭＥＭＳ动态测试中的具体运用。、
