5、结论

本文从MEMS动态测试的需求出发,根据频闪成像原理,利用EL6249C作为驱动芯片来驱动高亮度激光二极管发出频闪光,以便采集高速运动的MEMS器件在不同相位不同频率下的清晰图像,从而为后续MEMS器件运动特性的提取与分析做充分地准备。实验证明,此设计是行之有效的。

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