掩模工艺中硬烘培的操作方法及显影检验 光电显示技术文章

在显影检验阶段拒收的原因

有很多原因可使晶圆在显影检验时被拒收。一般地，要找的仅是那些在当前光刻掩膜步骤增加的缺陷。每一片晶圆都会带有一些缺陷问题，并且晶圆达到当前步骤时有可接受的质量，在这一原理下，从上一步留下的缺陷一般会被忽略掉。如果一片晶圆有严重的问题而在上一步未被发现，就会从本批中拿掉。

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