CMOS工艺条件下的NMOS管有一个横向寄生n-p-n(源极-p型衬底-漏极)晶体管,这个寄生的晶体管开启时能吸收大量的电流。利用这一现象可在较小面积内设计出较高ESD耐压值的保护电路,其中最典型的器件结构就是栅极接地NMOS(GGNMOS,GateGroundedNMOS)。
在正常工作情况下,NMOS横向晶体管不会导通。当ESD发生时,漏极和衬底的耗尽区将发生雪崩,并伴随着电子空穴对的产生。一部分产生的空穴被源极吸收,其余的流过衬底。由于衬底电阻Rsub的存在,使衬底电压提高。当衬底和源之间的PN结正偏时,电子就从源发射进入衬底。这些电子在源漏之间电场的作用下,被加速,产生电子、空穴的碰撞电离,从而形成更多的电子空穴对,使流过n-p-n晶体管的电流不断增加,最终使NMOS晶体管发生二次击穿,此时的击穿不再可逆,则NMOS管损坏。
为了进一步降低输出驱动上NMOS在ESD时两端的电压,可在ESD保护器件与GGNMOS之间加一个电阻。这个电阻不能影响工作信号,因此不能太大。画版图时通常采用多晶硅(poly)电阻。
只采用一级ESD保护,在大ESD电流时,电路内部的管子还是有可能被击穿。GGNMOS导通,由于ESD电流很大,衬底和金属连线上的电阻都不能忽略,此时GGNMOS并不能箝位住输入接收端栅电压,因为让输入接收端栅氧化硅层的电压达到击穿电压的是GGNMOS与输入接收端衬底间的IR压降。为避免这种情况,可在输入接收端附近加一个小尺寸GGNMOS进行二级ESD保护,用它来箝位输入接收端栅电压,如图1所示。
图1 常见ESD的保护结构和等效电路。
在画版图时,必须注意将二级ESD保护电路紧靠输入接收端,以减小输入接收端与二级ESD保护电路之间衬底及其连线的电阻。为了在较小的面积内画出大尺寸的NMOS管子,在版图中常把它画成手指型,画版图时应严格遵循I/OESD的设计规则。
如果PAD仅作为输出,保护电阻和栅短接地的NMOS就不需要了,其输出级大尺寸的PMOS和NMOS器件本身便可充当ESD防护器件来用,一般输出级都有双保护环,这样可以防止发生闩锁。
在全芯片的ESD结构设计时,注意遵循以下原则:
(1)外围VDD、VSS走线尽可能宽,减小走线上的电阻;
(2)设计一种 VDD-VSS之间的电压箝位结构,且在发生ESD时能提供VDD-VSS直接低阻抗电流泄放通道。对于面积较大的电路,最好在芯片的四周各放置一个这样的结构,若有可能,在芯片外围放置多个VDD、VSS的PAD,也可以增强整体电路的抗ESD能力;