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多通道石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows?窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带一个档板。用户可以自己选择0.1?/s 还是0.01?/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
多通道石英晶体监测仪的特点
1、RS-232接口,USB或以太网可选
2、双通道(标准型),四通道可选
3、高精度:0.03Hzat10个读数/s
4、沉积速率/膜层厚度模拟输出
多通道石英晶体监测仪的参数
QCM传感器输入:标准型:2;路可选:4路
频率范围:1-10MHz
频率分辨率:标准型:±0.12Hz@4readings/sec、可选:±0.03Hz@10readings/sec
频率稳定性:在0?to50?C,总计±2ppm
可选择的测量周期:0.10to2sec(每级增量0.05sec)
测量选择:1to20readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0to10VDC输出,沉积速率&膜厚
数字输入/输出:2路数字输入,4路继电输出
数字接口:标准型:RS-232、可选:USBor以太网
电源:0-120/200-240VAC,50/60Hz,20W
CE标识:Class1equipment、73/72/EECLVD,89/336/EECECD
安装支架:1/2-rackcabinet,3-1/2"high,89x213x197mm(3-1/2"x8-1/2"x7-3/4")
重量:2.7Kg(6lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
多通道石英晶体监测仪的使用方法
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过XtalLife键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。首先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
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