通过曲线拟合，其曲线方程为：
在信号通过模数转换器采集后，转换为角度输出时，根据实时采集的倾角传感器SCA100T处的温度值，就可以根据温度补偿曲线补偿相应的角度值，将温度对倾角测量的影响降到最低。
2．3 曲线拟合
由于SCA100T系列传感器输出与倾斜角度存在非线性关系（非线性误差在测量范围内为0.11°），这样不利于分析处理测量结果。因此必须采取相应的线性化措施，以补偿传感器引入的非线性。传统方法中多数采用硬件方法，实现方法比较复杂，且稳定性和可靠性难以控制。
由于SCA100T系列传感器的非线性特性是已知的，则可以利用相应的校正函数进行补偿。由于微处理器具有很强的函数运算与数据处理能力，用编程的方法可以很容易实现所需的校正函数。本设计采用SOC通过软件编程的方法修正非线性。
在设计时，将SCA100T-D01传感器的测量范围进行进一步细分，如将倾角为3°的这段曲线划分为2．5°～3．5°，并将拟合曲线修改为下式：
式中，XIN为模数转换器输出值经内部SINC3滤波器滤波后得到的采样值，TER为SCA100T传感器的实时温度补偿值，PI为圆周率。
上式既修正了传感器输出的非线性，又修正了温度对传感器的影响。
3 实测数据
该倾角测量系统在MC019-JJ2数字式2“光学分度头标准仪器上进行了分度和性能测试。MC019-JJ2数字式2”光学分度头是一种对装夹在其主轴上的工件进行角度分度或进行角度检验的精密光学计量仪器，其显示当量为1“。测试数据如表2所示。
