从表2的测试数据可知，每个测试点的偏差有正有负，其主要原因在于这些测试点的曲线拟合是独立的，互不影响。另外，在30°时绝对误差最大，最大的绝对误差为0．0044°，在1°时相对误差最大，为0．001 8／1≈0．018％。
4 结束语
本文采用MEMS倾角传感器SCA100T的模拟接 口为输出，采用其数字接口实现温度补偿，同时采用基准源和运放驱动作为传感器的电源，提高了传感器输出的精度和稳定性；信号处理时，采用低漂移运放处理电 路和差分模数转换电路，有效提高了信号的信噪比和共模抑制比；采用正弦曲线拟合，有效改善了信号输出的线性度。经过以上多方面信号处理和优化，在测量范围 内系统最大绝对误差为0．004 4°。并且系统集成度较高，体积小，成本低，可以满足地质石油勘探、设备安装、道路桥梁建设等工程应用以及机器人控制、坦克和舰船火炮平台控制、飞机姿态 控制等系统的自动水平调节应用。
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