由式(1)可知,测量流量时,不但要准确地测量出变容室内气体的压力、体积变化率和温度,还要在测量过程中控制变容室内气体的压力,使其恒定。

虚拟仪器的硬件结构

硬件及功能描述:

本着“提高测量精度和自动化程度,减小测量不确定度”的原则,设计了一套以工控机为中心的测量与控制系统,选用了精度较高的测量工具,并用多块数据采集卡把各测量工具与控制器件联系在一起,实现了数据自动采集和恒压自动调节功能。硬件总体结构如图1所示。

采用虚拟仪器技术实现气体微流量测量系统的设计

图1硬件总体结构图

采用3个Pt100铂电阻温度传感器、3个ADAM3013热电阻变送模块及1块PCI-1716多功能数据采集卡可实现对变容室、参考室及实验室温度同时进行采集。温度的测量范围为0~100℃,精度为0.1℃。

采用美国MKS公司生产的一套差压式电容薄膜规(包括三个规头、一个控制单元MKS274和一个数据显示单元MKS670,MKS670上有一个488接口,计算机通过IEEE488数据采集卡进行量程和规头选择)、美国NI公司生产的IEEE488数据采集卡实现气体压力的测量。压力的测量范围为0~1.01×105Pa。

利用台湾凌华公司生产的运动控制卡PCI-8132、伺服控制卡和位置控制卡、平动机构(主要包括选用北京微电机总厂生产的70LC-1型永磁式直流力矩测速机组、型号为HES-10242MD脉冲编码器、丝杠、θ5的活塞)等实现对伺服电机进行速度和位置控制(伺服控制结构简图见图2)。丝杠导程2mm,精度为0.001mm,是位移测量的基准。