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测量仪表相关技术文章基于C-V测量的最佳电容和AC阻抗测量方案维氏硬度计压痕图像测量系统

测量仪表相关技术文章基于C-V测量的最佳电容和AC阻抗测量方案

作者:泰克科技

各种各样的应用通常要在许多类型的器件上执行电容-电压(C-V)和AC阻抗测量。例如,C-V测量用来确定以下器件参数:MOSCAPs的栅极氧化物电容、MOSFET输入和输出电容、太阳能电池的内置电位、二极管的多数载流子浓度、BJT端子间的电容、MIS电容器的氧化物厚度、掺杂密度和门限电压。

C-V测量

4215-CVU和4210-CVU都是适用于4200A-SCS参数分析仪的多频(1 kHz ~ 10 MHz) AC阻抗测量模块(参见图1),让用户能够轻松进行C-V测量。这两种CVU之间的差异在于测试频率数量和AC驱动电压。4215-CVU拥有10,000个不同频率,分辨率为1 kHz;4210-CVU拥有37个不同频率。4215-CVU的AC驱动电压范围是10 mV ~ 1 V rms,4210-CVU的AC驱动电压范围是10 mV ~ 100 mV rms。

使用4200A-SCS参数分析仪进行最佳电容和AC阻抗测量

图1. 4200A-SCS参数分析仪。

CVUs采用独特的电路设计,通过Clarius软件控制,支持多种特性和诊断工具,确保测量结果的准确度达到最高。CVU拥有多种内置工具,如实时测量模式、开路、短路补偿、参数提取生成器、滤波、定时控制,并能够在软件中切换AC电流表端子。除外,它还采用适当的线缆和C-V测量技术,用户可以进行高度灵敏的电容测量。