对超低电容测量，理想情况是使用大约 1 MHz 的测试频率。如果测试频率远远高于 1 MHz，那么传输线效 应会提高成功进行测量的难度。如果测试频率较低， 那么测量分辨率会下降，因为测试频率和电流是成比例的，所以测量噪声会提高。
定时设置：可以在 Test Settings 窗口中调节定时设置。 Speed 模式设置允许用户调节测量窗口。对超低电容 测量，可以使用 Custom Speed 自定义速度模式设置测量时间，实现想要的精度和噪声。基本上，测量时间或窗口越长，测量的噪声越少。噪声与测量时间的 平方根成反比，如下面的公式所示：
通过计算电容测量的标准方差，可以得到噪声。在Clarius软件中，使用 Formulator 可以自动完成这一计算。cap-meas-uncompensated 测试自动计算噪 声，把得到的值返回 Sheet。可以在 Test Settings窗口中，使用 Custom Speed 自定义速度模式调节测量窗口，如图3所示。
图 3. Test Settings 窗口中的 Custom Speed自定义速度模式。
测量窗口的时间可以用下面的公式计算：
测量窗口 = （ 模数转换孔径时间 ） * （FilterFactor2 或滤波数 ）
表 1. 1 fF电容器的测量时间相对于噪声关系。
