表 1 列出了 CVU 噪声与测量窗口的关系,其使用 1 fF 电容器连接到 CVU 的端子,在 2 线配置下生成。 我们取15个读数的标准方差,使用0 V DC、1 MHz 和1 V AC驱动电压设置获得测量,计算出噪声。这一数据验证了噪声随测量时间提高而下降。注意 1 秒及以上测量时间的噪声为阿托法拉或 1 E-18F级。每个测试环境中可能要求进行实验,来确定测试的最优测量时间。

执行测量

一旦硬件和软件配置完成,我们就可以执行测量。在理想情况下,4200A-SCS应预热至少一小时,然后再进行测量。用下面四步获得补偿后的测量,重复测试结果。

1. 测量器件的电容。在项目树中选择 cap-meas-uncompensated 测试。在 Configure 视图中,根据 器件和应用调节测试设置。运行测试。

2. 测量开路。在项目树中选择 open-meas 测试。把 测试设置调节到与 cap-meas-uncompensated 测 试中的测试设置完全相同,包括数据点数和电压阶 跃数。只断开 CVH (HCUR 和 HPOT) 电缆。确保未 端接的电缆盖上帽子。运行开路测试。

3. 分析结果。在项目树中选择 femtofarad-capaci-tance 项目,选择 Analyze 视图。图 4 是显示了补偿后的 1 fF 测量的截图。

图 4. Analyze 视图Sheet表单和Graph示图截图显示了 1 fF测量。

注意最新电容和开路测量及噪声计算出现在 Sheet中。来自项目树中所有测试的Data Series出现在屏幕右侧。如图5所示,我们选择了从capmeas-uncompensated和 open-meas 测试中获得的 Latest Run 最新一轮测量的 Series List 系列列表。这意味着 每次执行测试时,Sheet 表单中都会填写最新数据。

使用 4215-CVU 电容电压单元进行fF飞法电容测量