图 5. 来自测试的 Data Series。
Formulator中已经设置了一个公式， 在 Project级Analyze视图表单Sheet 中， 从 cap-meas-uncompensated 测试数据中减去 open-meas 测试数 据，自动计算补偿后的电容测量。图表显示了补偿后 的电容随时间变化情况。Sheet中的 CAPACITANCE 栏列出了补偿后的测量以及所有读数的平均电容。图6显示了 Latest Run Sheet 最新运行表单数据及电容 测量 （Cp-AB）、时间、噪声、开路测量、补偿后的测 量 （ 电容 ） 和平均电容 （AVG_CAP）。
图 6. Analyze 视图表单 Sheet 中显示的测试数据。
4. 重复测量。选择Run，可以从项目级重复测量，将自动计算补偿的读数。但是，一定不能勾选 open-meas测试，如图7所示。如果数据以非预期的方式运行，应定期重复采集的开路测量。这可能是由温度偏移或电缆移动引起的。
图 7. 不要勾选 open-meas 测试，从项目级 Analyze 视图中重复测量。
总结
通过使用 Library 项目、正确连接和相应的测量技术 和设置，我们可以使用 4215-CVU 测量飞法级电容。使用 4215-CVU 及相应的测量窗口，可以实现几十阿托法托及以下的噪声。如需进一步了解怎样进行电容测量，包括线缆和连接、定时设置、保护和补偿，可以参阅吉时利应用指南“使用 4200A-SCS 参数分析仪进行最优电容和AC阻抗测量”， https://www.tek.com.cn/keithley-4200a-scs-parameter-analyzer。
