参考文献:[1] REBEIZ G M, MULDAVIN J B. RF MEMS switches andswitch circuits [J]。 IEEE Microwave Magazine, 2001, 2(4):59-71.

[2] MULDAVIN J B, REBEIZ G M. High-isolation CPWMEMS shunt switches. 1. Modeling [J]。 IEEE Transactionson Microwave Theory and Techniques, 2002, 48(6): 1045-1052.

[3] LAI Y L, CHANG L H. Design of electrostatically actuatedMEMS switches[J]。 Colloids & Surfaces A Physicochemical& Engineering Aspects, 2008, 313-314(none):469-473[ 4 ] HAR V E Y S 。 Newma n 。 R F MEMS s w i t c h e s a n da p p l i c a t i o n s [ C ] / / R e l i a b i l i t y P h y s i c s S y m p o s i umProceedings, 2002. 40th Annual. IEEE, 2002.

[5] BEBEIZ G M. RF MEMS理论·设计·技术[M]。黄庆安, 廖小平,译。 南京:东南大学出版社, 2005.

[6] 刘庆玲。不同加载方式对微悬臂梁弹性系数的影响[J]。机械设计与研究, 2008, 24(3): 49-51.

[7] MILANOVIC V, GAITAN M, BOWEN E D, et al.

Micromachined microwave transmission lines in CMOStechnology[J]。 IEEE Transactions on Microwave Theory &Techniques, 2002, 45(5):630-635.

(注:本文来源于科技期刊《电子产品世界》2020年第07期第73页,欢迎您写论文时引用,并注明出处。)

关于MEMS,传感技术就介绍完了,您有什么想法可以联系小编。