四、电容式压力传感器
电容式压力传感器采用变电容测量原理,将由被测压力引起的弹性元件的位移变形转变为电容的变化,用测量电容的方法测出电容量,便可知道被测压力的大小。
五、压磁式压力传感器
压磁式压力传感器的原理,某些铁磁材料受到外力作用时,引起导磁率变化现象,称作压磁效应。其逆效应称作磁致伸缩效应。硅钢受压缩时,其导磁率沿应力方向下降,而沿应力的垂向增加;在受拉伸时,导磁率变化正好相反。如果在硅钢叠片上开有4个对称的通孔,孔中分别绕有互相垂直的两个线圈,如左图(图压磁元件工作原理)所示,一个线圈为励磁绕组,另一个为测量绕组。无外力作用时,磁力线不和测量绕组交链,测量绕组不产生感应电势。当受外力作用时,磁力线分布发生变化,部份磁力线和测量绕组交链,并在绕组中产生感应电势,且作用力愈大,感应电势愈大。
压磁式压力传感器的典型代表是压磁式转矩传感器。
关于MEMS,传感技术就介绍完了,您有什么想法可以联系小编。