西交大成功开发新型高灵敏度GMI传感器 未来潜力巨大 MEMS,传感技术技术文章

现有的磁场传感器，包括磁通门传感器、霍尔传感器、磁阻传感器、超导量子干涉仪（SQUID）等，各有优缺点。霍尔传感器成本低但灵敏度小，磁电阻传感器灵敏度高但工艺复杂、成本高、磁滞和温漂大，磁通门传感器功耗大、响应慢，SQUID 传感器体积庞大、造价昂贵，巨磁阻抗（GMI）传感器具有滞回度低、温度稳定性好、灵敏度高等优点。现有的磁阻抗传感器由于加工工艺复杂、驱动信号频率高等问题导致了其价格居高不下，这也直接导致其应用和发展受到限制。因此，开发灵敏度高、驱动信号频率低、价格低廉的 GMI 传感器具有广阔的应用前景。

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