第三代半导体材料是指Ⅲ族氮化物(如氮化镓(GaN)、氮化铝(AlN)等)、碳化硅、氧化物半导体(如氧化锌(ZnO)、氧化镓(Ga2O3)、钙钛矿(CaTiO3)等)和金刚石等宽禁带半导体材料。与前两代半导体材料相比,第三代半导体材料禁带宽度大,具有击穿电场高、热导率高、电子饱和速率高、抗辐射能力强等优越性质,因此采用第三代半导体材料制备的半导体器件不仅能在更高的温度下稳定运行,而且在高电压、高频率状态下更为可靠,此外还能以较少的电能消耗,获得更高的运行能力。

对比于第一代硅(Si)、锗(Ge)半导体,第二代、第三代半导体的主要优势在于:

1)禁带宽度较大,所制造的器件可耐受较大功率,且工作温度更高;

2)电子迁移率高,适合高频、高速器件;

3)光电转换效率高,适合制作光电器件。

5G时代,氮化镓(GaN)成为发展重点

第三代半导体材料正在成为抢占下一代信息技术、节能减排技术及国防安全技术的战略制高点,是战略性新兴产业的重要组成部分。

随着当前5G技术的成熟,GaN材料开始展现出无与伦比的发展潜力。它是一种宽能隙材料,能够提供与碳化硅(SiC)相似的性能优势,但降低成本的可能性却更大。业界认为,在未来数年间,GaN功率器件的成本可望压低到和硅MOSFET、IGBT及整流器同等价格。

GaN性能特点:

1、高性能,主要包括高输出功率、高功率密度、高工作带宽、高效率、体积小、重量轻等。目前第一代和第二代半导体材料在输出功率方面已经达到了极限,而GaN半导体由于在热稳定性能方面的优势,很容易就实现高工作脉宽和高工作比,将天线单元级的发射功率提高10倍;

2、高可靠性,功率器件的寿命与其温度密切相关,温结越高,寿命越低。GaN材料具有高温结和高热传导率等特性,极大地提高了器件在不同温度下的适应性和可靠性。GaN器件可以用在650°C以上的军用装备中;

3、低成本,GaN半导体的应用,能够有效改善发射天线的设计,减少发射组件的数目和放大器的级数等,有效降低成本。目前GaN已经开始取代GaAs作为新型雷达和干扰机的T/R(收/发)模块电子器件材料。美军下一代的AMDR(固态有源相控阵雷达)便采用了GaN半导体。氮化镓禁带宽度大、击穿电压高、热导率大、电子饱和漂移速度高、抗辐射能力强和良好的化学稳定性等优越性质,使得它成为迄今理论上电光、光电转换效率最高的材料体系,并可以成为制备宽波谱、高功率、高效率的微电子、电力电子、光电子等器件的关键基础材料。

采用氮化镓材料制备的电力电子器件具有更高的工作电压、更高的开关频率、更低的导通电阻等优势,并可与成本极低、技术成熟度极高的硅基半导体集成电路工艺相兼容,在新一代高效率、小尺寸的电力转换与管理系统、电动机车、工业电机等领域具有巨大的发展潜力。